GBT10118-2009高纯镓.rarGBT10118-2009高纯镓.rar

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I C S7 7 .1 5 0 .9 9 H6 6 a 雪 中华人平易近共跟国国家规范 G B /T1 0 11 8 2 0 0 9 交流G B /T1 0 1 1 8 一1 9 8 8 2 0 0 9 - i O - 3 0 发布 _ _ _ _ l E j 同纯镓,U,憎’ H i g hp u r i t yg a l l i u m 2 0 1 0 0 6 0 1 实行 宰瞀髋鬻瓣警糌瞥星发布中国国家规范化谋划委员会促1 9 刖吾 本规范交流G B /Ti 0 1 1 8 1 9 8 8 高纯镓。 本规范与G B /T1 0 1 1 8 一1 9 8 8 比拟,重要有如下变卦 增加了检出杂质元素的种类; 高涨了原规范中检出杂质元素的含量; 引入了M B E 级商标高纯镓; 对原规范的试验方法举行了修正,增加了辉光质谱法等。 本规范的附录A 为资料性附录。 本规范由世界半导体设备跟原料规范化技艺委员会提出。 本规范由世界半导体设备跟原料规范化技艺委员会原料分技艺委员会归口。 本规范认真起草单元国瑞电子原料无限义务公司。 本规范介入起草单元南京金美镓业无限公司。 本规范重要起草人于洪国、邢志国。 本规范所交流规范的历次版本发布状况为 G B /T1 0 1 1 8 - - 1 9 8 8 . G B /T1 0 1 1 8 2 0 0 9 高纯镓 G B /T1 0 1 1 8 2 0 0 9 1 规模 本规范规则了高纯镓的央求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及订货单 或合同 内 容等。 本规范适用于以纯度不小于9 9 .9 9 %的产业镓为原料,经电解精炼、拉制单晶或其他提纯工艺制得 的纯度不小于9 9 .9 9 99 %的镓。产物供制备化合物半导体原料跟高纯合金。 2 模范性援用文件 下列文件中的条目经过本规范的援用而成为本规范的条目。素日注日期的援用文件,其随后全部 的修正单 不包含修订的内容 或修订版均不适用于本规范,然则,鼓舞依据本规范达成协议的各方研讨 能否可应用这些文件的最新版本。素日不注日期的援用文件,其最新版本适用于本规范。 Y S /T4 7 4I C P M S 剖析法测定高纯镓中的痕量元素 3 央求 3 .1 产物分类 产物按纯度分为G a 一0 6 、G a - 0 7 、M B E 级三个商标 G a 一0 6 表现镓含量不小于9 9 .9 9 99 %的高纯镓; G a 一0 7 表现镓含量不小于9 9 .9 9 99 9 %的高纯镓; M B E 级表现镓含量年夜于9 9 .9 9 99 9 9 %的高纯镓。 3 .2 化学要素 产物的化学要素应契合下列各表的规则 表1 高纯镓G a - 0 6 化学要素 化学要素 质量分数 /% 商标G a杂质含量/ 1 0 “ ,不年夜于 不小于 F eS iP bZ nS n M g C uM nC rN i 总跟 G a _ 0 69 9 .9 9 9935333323331 0 0 注1 表中镓百分含量为1 0 0 %减去表中所列杂质含量 质量分数 的总跟; 注2 表中未列的其他杂质元素,可由供需双方协商确定。 表2 高纯镓G a - 0 7 化学要素 化学要素 质量分数 /% 商标G a杂质含量/ 1 0 - 6 ,不年夜于 不小于 F eS iP bZ 1 1 .S n M g C u M n C rN iN aC a总跟 G a _ 0 79 9 .9 9 99 90 .50 .50 .50 .50 .50 .50 .20 .30 .50 .50 .50 .51 0 注1 表中镓百分含量为1 0 0 %减去表中所列杂质含量 质量分数 的总跟; 注2 表中未列的其他杂质元素,可由供需双方协商确定。 G B /T1 0 1 1 8 2 0 0 9 表3M B E 级高纯锿化学要素 商标 化学要素 质量分数 /% G a 年夜于 杂质含量 M B E 级 9 9 .9 9 99 9 9 除了基体G a 跟离子源T a ,其他检出杂质元素的含量都低于G D M S 剖析的检测极限。 3 .3 外表质量 产物呈雪白色,块状,结晶致密,无氧化色斑。 4 试验方法 4 .1 G a - 0 6 商标高纯镓的化学要素剖析按Y S /T4 7 4 的规则举行。 4 .2G a - 0 7 与M B E 级商标高纯镓的化学要素剖析按G D M S 法,参照附录A 举行。 5 检验规则 5 .1 搜索跟验收 5 .1 .1 产物由供方技艺监视局部举行检验,包管产物契合本规范的规则,并填写质量包管书。 5 .1 .2 需方可对收到的产物举行检验,如检验结果与本规范规则的不切合时,在收到产物之日起三个 月外向供方提出,双方协商谋划。 5 .2 组批 产物应成批提交验收,每批应由统一商标、同一消费方法的产物组成。连续花费的企业每批总量不 逾越跨过10 0 0k g ,中止花费的企业每批总量不逾越跨过1 0 0k g 。 5 .3 取样 产物取样按如下规则举行从每批产物中任取5 个包装单元,每瓶任取5g ~1 0g ,混杂平均。仲裁 取样应由供需双方配合举行。 5 .4 检验结果的判定 化学要素跟外表质量检验分歧格时,则判定该批产物为分歧格。 6 标志、包装、运输、贮存 6 .1 标志 在检验及格产物瓶上应附有标签,注明供方名称、产物名称、批号、商标、出厂日期跟“勿倒置”字样 或标志。每箱外应注明供方名称、产物名称、产物批号、并有“防潮”、“防晒”字样或标志。 6 .2 包装 产物装入干净处置处分过的非极性塑料瓶中,每瓶毛重不逾越跨过2k g ,冷凝成固体,经充高纯惰性气体或 真空封装后,置于泡沫盒中,末了装入包装箱内。包装方法跟每瓶重量也可按供需双方协商确认的结果 举行。 6 .3 运输 产物在运输过程中应防备潮湿,不得倒置跟碰撞。 6 .4 贮存 产物应寄存于干净、逝世板跟无酸、碱气氛之处。状况温度为高温或室温。 6 .5 质量仿单 每批产物应附有质量仿单,注明 a 供方名称; b 产物名称; c 产物批号、商标; 2 d 各项剖析检验结果及检验局部印记; e 本规范编号; f 花费日期。 7 订货单 或合同 内容 本规范所列产物的订货单 或合同 ,应至少包含以下内容 a 产物名称; b 商标; c 重量; d 本规范编号; e 其他。 G B /T1 0 11 8 2 0 0 9 G n /T1 0 11 8 2 0 0 9 附录A 资料性附录 G D M S 法测定高纯镓中杂质元素含量的支配模范 用辉光放电质谱法测定高纯镓时的重要支配措施如下 A .1 在样品镓的原包装内将其加热消融为液体,然后用曾经洗迓洫干净的聚四氟乙烯管子抽出并用液 氮快速冷却成固体。 A .2 从聚四氟乙烯管子中拔取契合长度的样品镓,并快速放入用冰水冷却的王水中举行酸腐化,时间 普通为2 0m i n 。回声终了后以高纯的无水乙醇超声洗迓洫两次,每次1m i n 。 A .3 将制备好的样品快速的放人仪器,并冷却至液氮温度。 A .4 末尾放电。因为镓的熔点较低,所以放电前提不宜太猛烈,普通采用1k V ,0 .6m A ~o .7m A 。 A .5 因为仪器的放电溅射过程自身可以对样品举行进一步的洗迓洫的感化,所以在数据网罗之前要不雅 察随便污染的元素如N a 、A l 等能否曾经趋于一个摇动值。 A .6 假如措施5 中所讲元素曾经基本摇动,那么应用事先编纂好的措施网罗数据,结果取两遍的平 均值。 A .7 处置处分数据。 A .8 打印报告。
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